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發布時間︰2019.01.14 瀏覽次數: 
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油擴散泵1.3×10-2—1.3×10-71.3×10

油蒸氣噴射泵1.3×10—1.3×10-2<1.3×105

分子篩吸附泵1×105—1.3×10-11×105

濺射離子泵1.3×10-3—1.3×10-96.7×10-1

鈦升華泵1.3×10-2—1.3×10-91.3×10-2

鋯鋁吸氣劑泵1.3×10—1.3×10-111.3×10

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